Halbleiterelement mit Isolierueberzuegen und Verfahren zu seiner Herstellung

  • Inventors: KUBO,SEIJI
  • Assignees: Hitachi Ltd
  • Publication Date: June 11, 1970
  • Publication Number: DE-1589890-A1

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      DE-2453528-A1July 10, 1975IbmMaskierungsverfahren